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中国拿光刻机入场券 实现从无到有的突破

光刻机被誉为半导体工业皇冠上的明珠,其工艺水平直接决定了芯片的制程水平和性能水平,其重要性可见一斑。目前,全球只有4个国家能够生产光刻机,如今中国也成为了其中一员,正式拿到了光刻机的入场券,具体情况是怎样的呢?一起来看看。

中国光刻机最新发展
中国光刻机最新发展

为纪念浦东开发开放30周年,中央广播电视总台财经节目中心和上海总站联合推出的六集4K纪录片《而立浦东》,在第四集讲述了中国光刻机的研发历史。指出每颗芯片诞生之初,都要经过光刻机的雕刻,精度要达到头发丝的千分之一。18年前,全球光刻机市场只有荷兰、美国、日本拥有“入场券”,并对中国实施技术封锁。

上海微电子装备(集团)股份有限公司副董事长贺荣明带领团队,从维修零部件开始研发。对于光刻机来说,曝光是最关键的环节。2007年,研发团队迎来了第一次正式曝光。2007年2月8日这一天,五年的坚守与付出,终于初见曙光。现如今,中国依托张江的创新,成为了除荷兰、美国、日本之外全球能生产光刻机的四个国家之一