光刻机是谁发明的 主要用途有哪些呢？

工业能力是一个国家国防实力和经济实力的基础，而光刻机是现代工业体系的关键部分，不过目前荷兰光刻机是最有名的，出口到全球各国，口碑很好。那光刻机是谁发明的？主要用途有哪些呢？一起来看看详细内容吧。

1959年，世界上第一架晶体管计算机诞生，提出光刻工艺，仙童半导体研制世界第一个适用单结构硅晶片，1960年代，仙童提出CMOSIC制造工艺，第一台IC计算机IBM360，并且建立了世界上第一台2英寸集成电路生产线，美国GCA公司开发出光学图形发生器和分布重复精缩机。

光刻机是集成电路制造中最精密复杂、难度最高、价格最昂贵的设备，用于在芯片制造过程中的掩膜图形到硅衬底图形之间的转移。集成电路在制作过程中经历材料制备、掩膜、光刻、刻蚀、清洗、掺杂、机械研磨等多个工序，其中以光刻工序最为关键，因为它是整个集成电路产业制造工艺先进程度的重要指标。

目前，全球最顶尖的光刻机生产商是荷兰ASML、Nikon、Canon和上海微电子（SMEE），其中ASML实力最强，因此全球多数国家都愿意去这家公司进口光刻机，值得注意的是，美国正在阻挠中国进口荷兰光刻机，而颇有压力的荷兰政府也摇摆不定，目前，三方正在僵持。